设备简介:GQ-3F可以用于控制一种到两种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架上,管式炉可以放在GQ-3F的上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合艾科迅的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。 质量供气系统技术参数 外形尺寸 600x600x600mm 标准量程 10-100ml/min 16-160ml/min 25-250ml/min 压力表测量范围 -0.1Mpa~0.15Mpa 极限压力 3MPa 针阀 316不锈钢 截止阀 Φ6mm 316不锈钢针阀 气路通道 3路 管道 Φ6mm聚四氟乙烯管 接口 Φ6,1/4''